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ビームプロファイラ

レーザービームのビーム幅、ビーム形状、ビーム位置、パワー、強度プロファイルなどを測定する測定器のことです。

同じビーム径、パワーでもレーザー発振器の種類によって加工結果が異なるのはビームの品質が異なるからで、そのビーム品質の診断をするためにはビームプロファイラが必要になります。

ビームプロファイルの方式には「カメラ型」と「スキャン型」があり、スキャン型はさらに「ピンホール型」「スリット型」「ナイフエッジ型」に分けられます。

「カメラ型」と「スキャン型」の長所・短所を以下にまとめてみます。

◆カメラ型

○…CWレーザーとパルスレーザーの両方を測定できる
○…リアルタイムの測定ができ、データの同時性がある
×…ビーム径がある程度太くないと測定できない(約50~250μm以上)
×…感度が高く、損傷し易いのでレーザーを減衰しなければならない

◆スキャン型

×…CWレーザーしか測定できない
×…1軸、2軸と時間差のある複数のデータを統合して測定しているため、データの同時性は無い
○…極小ビームでも精度の良い測定ができる(約3μmまで)
○…レーザーを減衰しなくても直接測れる、高出力レーザーも測れる

ビームプロファイラ
左:カメラ型 右:スキャン型(ナイフエッジ型)

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テーマ : ものづくり
ジャンル : ビジネス


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