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エキシマレーザー

 エキシマレーザーとは希ガスやハロゲンなどの混合ガスを用いてレーザー光を発生させるガスレーザーの一種です。希ガスはアルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)が、ハロゲンはフッ素(F)、塩素(Cl)が一般に使用されています。代表的なエキシマレーザーの発振波長は以下のとおりで、短波長の紫外領域のレーザーです。

F2 - 157 nm
ArF - 193 nm
KrF - 248 nm
XeCl - 308 nm
XeF - 353 nm

 エキシマレーザーの発振機は非常に大きく、高価です。またガスには寿命があるため、交換を定期的に行わなければならないため、ランニングコストもかかります。

 用途としては波長が短いために微細加工、またアブレーション(※)効果により熱影響やデブリの無い高品質加工が可能です。
 近年では視力矯正手術(レーシック手術)に応用されており、エキシマレーザーによって角膜の一部分を必要なだけ正確に除去することで網膜に焦点が合うように矯正します。


※アブレーションとはエネルギーの集中したレーザー光をワーク表面に照射したとき、ワークの構成物質が原子、分子、プラズマ状態となって爆発的に放出される現象のこと。加工後のゴミ(デブリ)が残らず、熱影響の範囲も限定的になるため、高品質な加工ができる。

テーマ : ものづくり
ジャンル : ビジネス


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