レーザー用ミラー:金属コーティングの保護(金)
金コーティングミラーは、遠赤外波長領域において最も効率の良いコーティングで、CO2レーザーに良く使われます。SiOの保護膜コーティングによりIR域全体で平均98%の反射率を保ち、さらには誘電体多層膜をコーティングすると99.5%の反射率を実現することも可能です。
低出力(100W未満)のCO2レーザーに使用する場合には、溶融石英の母材に金コーティングと保護膜コーティングをしたものでも使えますが、板金用途などの高出力(100W超~数キロワット)のCO2レーザーに使用する場合には、放熱性の良い銅の母材に金コーティングをし、誘電体多層膜で反射率を高めたものを使わないと破損してしまいます。
また、高出力のCO2レーザー用ミラーとして、銅の母材に金よりも融点の高いモリブデンコーティングを施したものを使う場合もあります。さらには母材ごとモリブデンの特殊なものもあるようです。
低出力(100W未満)のCO2レーザーに使用する場合には、溶融石英の母材に金コーティングと保護膜コーティングをしたものでも使えますが、板金用途などの高出力(100W超~数キロワット)のCO2レーザーに使用する場合には、放熱性の良い銅の母材に金コーティングをし、誘電体多層膜で反射率を高めたものを使わないと破損してしまいます。
また、高出力のCO2レーザー用ミラーとして、銅の母材に金よりも融点の高いモリブデンコーティングを施したものを使う場合もあります。さらには母材ごとモリブデンの特殊なものもあるようです。